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氧化物半导体电热元件的特性及制作方法

    氧化物半导体电热元件的特性及制作方法的研究一直十分活跃,且成果颇丰。然而,有关电热元件测量电路的研究却相对落后。近年来广泛采用的负载电阻取样电压法”存在一些实际问题有待解决。主要表现在以下三个方面:将较大的取样电阻与电热元件串联,影响元件在一定温度下的工作电流与真实电阻。分立阶梯加热电压法不能配合函数记录仪绘出真实曲线。取样电压描点法漏掉了元件测量中的细微特征,不能反映电热元件在某种气体中敏感过程的全貌。为解决上述问题,本文在现有测量电路基础上进行了优化设计;大量实验结果表明,效果十分理想。测量电路的设计方法,线性升压加热源VH(t)的设计一般SnO2烧结型、γ-Fe2O3烧结型及SnO2Fe2O3双层或多层薄膜型等常见旁热式电热元件,其热丝电阻设计在38Ω左右。根据元件在工作过程中对温度的要求,热丝电压源VH(t)应该在0~6。3V,电压上升速率人为可调,随时间t线性上升加热电压源(如图1所示)。性连续增长热丝电压源。

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