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硅碳棒测试和表征用二点弯曲试验测试

    硅碳棒测试和表征用二点弯曲试验测试二次成膜处理和L 300℃保温100 h条件下未脱Na和脱Na试样的弯曲强度,跨距为30 mm.采取四点弯曲方法测试两种试样的高温蠕变特性,内外跨距分别为10~和30 mm.将二次成膜后的两种试样插人石英玻璃管中加热至1 000 9C保温500 h,考查对其失透特性的影响.为了评价Na含量对材料寿命的影响,本文将脱Na前后的两种试样加工成与实际使用结构相同的小型发热元件,在不同温度下进行了高负荷耐久性试验,用其所能够承受的热履历次数表征其使用寿命.石英玻瑞管失透现象制造半导体材料的热处理装置如图1所示.待处理硅碳棒放在石英玻璃质的管中,该玻璃管形成一个可以通人各种气氛的密闭空间,热量是通过玻璃管辐射到硅碳棒上对硅碳棒进行加热的,因此玻璃管必须保持透明状态‘图z给出了脱Na前后二硅化钥发热元件对石英玻璃管透明特性的影响.由图2可以看出,在1 000℃保温500 h试验后,未脱Na条件下玻璃管发生失透现象,而脱Na条件下玻璃管仍然是透明的.这是因为未脱Na发热元件中Na?含量较高,高温下从发热元件体中挥发出来与石英玻璃反应,导致石英玻璃析晶和显微裂纹化所致.硅碳棒强度和韦伯模表给出了两种试样的硅碳棒强度。和。,分别表示试样的最大、最小和平均硅碳棒强度)和韦伯模量(m),其中脱Na试样经过二次成膜处理,未脱Na试样经过与脱Na试样二次成膜处理条件相同(1 SDO℃保温2 min)的成膜处理,从表1可以看出,两种试样的弯曲强度和韦伯模量基本上处在同一水平.但是,将两种试样在1 300℃处理 00 h后,脱Na试样的弯曲强度和韦伯模量明显高于未脱Na试样(表2).www.beritawan.com

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